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旋涂勻膠機工作原理和性能
勻膠機
(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
勻膠機的數碼速度控制器采用的是一個高計數位的光學編碼器輸入至伺服馬達控制器,其設置點精度小于0.006%。
通過PLC控制系統,運行干擾小,可靠性高。人機交互按鍵顯示操作,界面友好,更直觀便捷,用戶可靈活編制、儲存、調用和修改工藝參數。
勻膠機可以設定多達20個程序段來存儲不同材料的制備過程,每個程序段都能設定51步速度改變,當前參數具斷電保護功能。
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